※ 表示価格は参考価格です。ご注文時は見積もり対応いたします。
● 検出部に独自開発の微小熱式流量センサを搭載した高性能デジタルマスフローコントローラーです。
● 一目で制御状態が分かる大型LEDと、詳細に制御状態が分かる液晶表示器を搭載。
● 広い流量域で精度を向上。
● 耐環境性が向上しました。
● −10℃〜60℃の広い温度域で使用可能。
● 制御性の微調整が可能。
● 外部電源が無くてもPCローダから設定可能。
● 0.3sの高速応答です。
● ガス種は設定で変更可能です。
● 圧力損失が少ないため、入口圧が低くても使用できます。
● 混合ガスなど、記載以外のガスにも対応できる可能性がありますのでご相談ください。
型式 | F4Q0020B6TN100000 |
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標準流量レンジ ※1 | 0.2〜20L/min(normal) |
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流路材質 | SUS316 |
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配管接続方式 | Rc1/4 |
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ガス種類 ※2 | 空気・窒素 |
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通信種類 | RS-485 |
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Oリング材質 | フッ素ゴム |
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※1 空気・窒素における制御流量レンジです、0℃1気圧(101.3kPa)に換算した体積流量を表します。
※2 設定変更により空気・窒素以外のガスにも対応できます。ガスの種類により制御可能な流量レンジが異なります。ガス種類別制御流量レンジをご覧ください。
型式 | 品名 |
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F9Y4QHP2 | F40ハーフピッチコネクタ付ケーブル2m |