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●コンパクトマスフローデバイス。ローコストながら高精度計測。
●高速応答で優れたゼロ点安定性。
●電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用。
●ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能(流量はN2ガスとの比による計算値)。
●RS485通信機能を標準装備。
※ ご注文時は、添付画像の注文方法に沿って仕様をご指定ください
型式 | EX-250SC |
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対象ガス | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2(記載のないガスはN2換算) |
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流量レンジ | 5SCCM〜10SLM |
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制御範囲 | 2〜100%F.S. |
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精度 | ±1.0%F.S. |
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動作差圧 | 50〜300kPa(Ar、CO2:100〜300kPa) |
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耐圧 | 980kPa |
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接ガス部材質 | SUS316、SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、FKE |
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流量設定入力信号 | 0〜5VDC(入力インピーダンス約1MΩ)または 4〜20mA(入力インピーダンス約250Ω) |
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流量出力信号 | 0〜5VDC(負荷抵抗10kΩ以上)または 4〜20mA(負荷抵抗500Ω以下) |
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デジタル通信 | RS485 ロータリースイッチによるアドレス設定 |
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電源 | +15VDC(±5%)100mA以下、−15VDC(±5%)150mA以下または +24VDC(±10%)180mA以下 |
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継手 | 1/4F900(標準) |
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外寸法 | W76×D30×H80mm |
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重量 | 約500g |
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