●幅広い流量域をカバーしながら、低価格・短納期を実現しました。
●周囲温度補償方式サーマルセンサを採用し、センサ温度を低温にできるため長期安定性に優れています。
●ガス種、最大流量を変更できるバリアブルレンジ機能搭載。
※ ご注文時に出荷設定のガス種・フルスケール流量を必ずご指定下さい。
※ 継手が1/4VCR相当、Rc1/4タイプもございます。お問合せ下さい。
※ 電源ユニットは±15V 入出力0〜5Vの物を別途ご用意下さい。専用電源もございます。
型式 | MC-10RC-4SWLR4A0A0-04 |
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流量レンジ (N2、at0℃、1atm) | 1.6〜200ml/min |
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変更可能最大流量レンジ | 80〜200ml/min |
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対象ガス | 非腐食性ガス(N2、O2、Air、H2、Ar、He、CO2、CH4、C3H8など) |
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最小制御流量 | フルスケールの2% |
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測定精度 | ±1.0%F.S. |
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応答時間 | 1 sec以下 |
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再現性 | ±0.2%F.S. |
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必要差圧 | 50〜300kPaD |
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耐圧 | 1MPa |
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材質 | 接ガス部:SUS316L、PTFE、磁性ステンレス、シール材:フッ素ゴム |
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継手 | 1/4SWL相当 |
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電源 | ±15VDC(+15V 100mA、-15V 150mA) |
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