●微小流量から大流量まで対応したべーシックモデル。
●±1.0%フルスケール以内の高精度、流量設定値まで1秒以内の高速応答。
●オートゼロアジャスト機能搭載で高い信頼性。
※ ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を必ずご指定下さい。
※ E50MK3は、ガス種限定モデル(N2、O2、Air、H2、Ar、Heに対応)です。
※ 専用電源ユニット(PE-D20)、接続ケーブル(SC-EDH-1M,2M,3M,5M,10M)もご用意がございますのでお問合せ下さい。
※ 検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図等が必要な場合は別途有償で発行致します。お問合せ下さい。
型式 | SEC-E50MK3 |
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対応ガス種 | 非腐食性ガス(MK3モデルはN2、O2、Air、H2、Ar、Heに対応) |
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フルスケール流量(N2) | 20〜30SLM |
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流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
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流量制度 | ±1%F.S. |
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使用環境温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
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応答性 | 1秒以内(T98) |
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直線性 | ±0.5%F.S. |
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再現性 | ±0.2%F.S. |
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動作差圧 | 50〜300kPa(10SCCM〜5SLM)(d) 100〜300kPa(10〜30SLM)(d) |
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外部リークレート | 1×10−10Pa・m3/s(He)以下 |
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流量設定信号 | 0.1〜5VDC/2〜100%F.S. |
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流量出力信号 | 0〜5VDC(0〜100%F.S.) |
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駆動電源 | +15VDC ±5% 50mA、−15VDC ±5% 200mA(3.9VA) |
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接ガス部材質 | SUS316、フッ素ゴム、PTFE、磁性ステンレス |
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標準継手 | 1/4Swagelok、VCR |
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※ ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を必ずご指定下さい。
※ E50MK3は、ガス種限定モデル(N2、O2、Air、H2、Ar、Heに対応)です。