●高精度・高速応答の超小型流量センサ。
●消費ガス・パージガスの流量管理に最適。
●瞬時流量及び積算機能を搭載。
●垂直水平どの方向にも取り付けることができます。
※ ニードルバルブ付です。
※ 電源ケーブル(AC100、約3m)付属。
※ ご注文時に仕様欄のスイッチ出力(NPN/PNP)・アナログ出力(1〜5V/4〜20mA)をご指定下さい。
※ その他のボディ材質・流量レンジ・接続口径・適用ガスの規格もございます。お問合せ下さい。
※ 検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図等の成績書が必要な場合は別途有償で発行致します。お問合せ下さい。
※ 本製品は再調整や修理には対応しておりません。点検校正のみ対応致します。
型式 | MF-FP10NH06-005-AI |
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流量レンジ | 0〜0.5L/min |
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分解能 | 1mL/min |
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ボディ材質 | 樹脂(禁油なし) |
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接続口径 | φ6mmワンタッチ(樹脂) |
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精度保証範囲 | 3〜100%F.S. |
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応答速度(90%) | 50msec |
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直線性 | ±3%F.S. |
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適用ガス | N2、Air |
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スイッチ出力※ | 出力2点(NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下) 出力2点(PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下) |
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アナログ出力※ | 1〜5V電圧出力1点(接続負荷インピーダンス50kΩ以上) 4〜20mA電流出力1点(接続負荷インピーダンス0〜300Ω) |
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使用温度 | 0〜50℃ |
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耐圧 | 1000kPa |
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リーク規格 | 2.9mL/min以下(圧縮空気0.7MPa加圧時) |
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電源 | 電圧出力:DC12〜24V(10.8〜26.4V) 電流出力:DC24V(21.6〜26.4V) |
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外寸法 | 約W90×D17×H56mm |
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重量 | 約80g |
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※ ご注文時に仕様欄のスイッチ出力(NPN/PNP)・アナログ出力(1〜5V/4〜20mA)をご指定下さい。