※ この商品は受注生産品です。ご注文確定後の注文キャンセルはお受けできません。
●コンパクト&ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラです。
●改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し、高速応答を実現。
●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用。
●燃焼ガス制御用の低差圧仕様もあります(オプション)。
※ 流量レンジは設定できる最大流量レンジです。ご注文の際はこのレンジより最大流量をご指定下さい。
※ 流体名Air、N2、O2、Ar、CO2、H2、Heよりご指定下さい(その他のガス種につきましてはお問合せ下さい)。
※ 上記規格以外は別途お見積になります。
※ 電源ユニットは別途御購入下さい。コンパクトリードアウトユニットCR-400をおすすめします。
型式 | MODEL3660 |
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流量レンジ | 10〜500ml |
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流量レンジ(N2換算) | 10SCCM〜20SLM |
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制御範囲 | 2〜100%F.S. |
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精度 | ±1.0%F.S.(25℃) |
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動作差圧 | 5SLM以下:50〜300kPa 5SLM以上:100〜300kPa |
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耐圧 | 980kPa |
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許容周囲温度 | 5〜45℃ |
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接ガス部材質 | ボディ:SUS316・SUS316L・磁性ステンレス バルブシート・シール材:FKM(オプション:CRorNBR) |
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継手 | 標準:1/4SWL |
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